週二. 10 月 20th, 2020

南臺科大團隊獲台積設備創意競賽季軍


南臺科大機械系與電機系博碩士班研究生跨領域組成團隊,自行打造半導體機械手臂。(記者陳懷恩攝)
【記者陳懷恩台南報導】南臺科大「台灣工業4.0探索隊2.0」博、碩士生團隊,參加台積電公司及交通大學電機系主辦的「2018第二屆台積設備創意競賽」,主要以模擬半導體設備晶圓傳送為主軸勇奪季軍並獲得獎金20萬元。
此設備創意競賽主要以模擬半導體設備晶圓傳送為主軸,參賽團隊須自行打造半導體機械手臂,以快速、穩定、精準的方式完成任務。本屆新增晶圓AOI影像的瑕疵檢測、製程設備的訊號溝通與手臂對應控制等元素,讓競賽更貼近台積電公司的廠域現況,也增加不少競賽難度。
南臺科大「台灣工業4.0探索隊2.0」由電機系杜翌群老師指導,機械系博士生林?瑞領軍,電機系博士生石正邦與電機系碩士生黃俊衛組成,連續兩年都在台積設備創意競賽中脫穎而出,實屬不易。
團隊設計的機械手臂除了可以快速完成競賽所要求的任務外,對新增的晶圓瑕疵檢測與製程流程控制的任務,也都成功克服困難,完成功能並整合於系統上。
此外團隊所研發的創新智慧震動感測器,具有高靈敏且安裝簡單等優勢,並可利用無線傳輸即時監控手臂狀況並進行回授控制,實測成果佳。